潔凈實驗室的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)接觸的大氣的清潔度、溫度和濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。這個空間叫做潔凈室。根據(jù)國際慣例,無塵凈化水平主要根據(jù)每立方米空氣中顆粒直徑大于標準的顆粒數(shù)量而定。換句話說,所謂的無塵不是沒有灰塵,而是控制在一個非常小的單位。當然,與我們的普通粉塵相比,符合該標準的粉塵顆粒很小,但對于光學(xué)結(jié)構(gòu)而言,即使是一點點粉塵也會產(chǎn)生很大的負面影響。因此,無塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)的必然要求。
每立方米都會小于0.3微米粒徑的微粉塵數(shù)量控制在3500以下,達到國際無塵標準a級。目前,芯片級生產(chǎn)加工中使用的無塵標準要求高于a級。這種高標準主要用于一些芯片的生產(chǎn)。微粉塵的數(shù)量嚴格控制在每立方米1000個,這通常被稱為行業(yè)中的1個K級別。
潔凈實驗室建設(shè)的主要用途:
1.空氣潔凈室:已建成并可投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它有所有相關(guān)的服務(wù)和功能。然而,設(shè)施中沒有操作員操作的設(shè)備。
2.靜態(tài)潔凈室:各種功能齊全,設(shè)置安裝得當,可按設(shè)置或正在使用的潔凈室(設(shè)施)使用,但設(shè)施內(nèi)無操作人員。
3.動態(tài)潔凈室:潔凈室正常使用,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如有必要,可以從事正常工作。
潔凈實驗室建設(shè)規(guī)劃一般規(guī)定:
1.潔凈室建筑裝修施工應(yīng)完成屋面防水工程及周邊結(jié)構(gòu)、外門、外窗安裝、主體結(jié)構(gòu)驗收,其內(nèi)容包括室內(nèi)裝修工程、門窗安裝、間隙密封、各種管道、照明、凈化空調(diào)設(shè)備、工藝設(shè)備等與建筑密封作業(yè)的結(jié)合。
2.潔凈室建筑裝修施工進度安排應(yīng)與其他專業(yè)工種制定明確的施工合作計劃,并按程序相互配合。
3.潔凈室建筑裝修施工應(yīng)符合現(xiàn)行標準《裝修工程施工及驗收規(guī)范》GBJ210和《地面及地面工程施工及驗收規(guī)范》GBJ除209年的要求外,還應(yīng)保證施工的氣密性,減少施工作業(yè)的粉塵量,保持施工現(xiàn)場的清潔。如有防腐要求,還應(yīng)符合現(xiàn)行標準《建筑防腐工程施工及驗收規(guī)范》TJ212的規(guī)定。
4.潔凈室建筑裝飾施工現(xiàn)場的環(huán)境溫度應(yīng)不低于10℃,但是,對于特殊裝修工程,應(yīng)按照裝修材料說明書要求的溫度進行施工。