潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)劃
潔凈實(shí)驗(yàn)室的關(guān)鍵功效取決于操縱商品(如硅片等)所觸碰的空氣的清潔度及溫度濕度,使商品能在一個(gè)優(yōu)良的自然空間中生產(chǎn)制造,這一空間大家稱之為潔凈室。依照慣例,無塵凈化層級(jí)關(guān)鍵是依據(jù)每立方米空氣中微粒直徑大于劃分規(guī)范的微粒數(shù)來規(guī)定。也就是說無塵并不是沒有一點(diǎn)塵土,只是操縱在一個(gè)很微量化的單位上。自然這一規(guī)范中合乎塵土規(guī)范的微粒度相對(duì)性于大家普遍的塵土早已小得很少,可是針對(duì)光學(xué)構(gòu)造來講,乃至一點(diǎn)塵土都是造成十分大的不良影響,因此在光學(xué)構(gòu)造商品的生產(chǎn)制造上,無塵是必須的規(guī)定。
每立方米粒徑小于0.3的粉塵量控制在3500以下,達(dá)到無塵標(biāo)準(zhǔn)a級(jí)。目前,芯片級(jí)生產(chǎn)加工中采用的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于a級(jí),這種高標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些級(jí)別較高的芯片生產(chǎn)。粉塵數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi),俗稱行業(yè)1K級(jí)。
潔凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè):
1.空氣潔凈室:已建成的潔凈室(設(shè)施),可投入使用。具有相關(guān)的服務(wù)和功能。但設(shè)施中沒有操作人員操作的設(shè)備。
2.靜態(tài)潔凈室:各種功能齊全,得當(dāng)。潔凈室(設(shè)施)可以根據(jù)設(shè)定使用,也可以正在使用,但設(shè)施中沒有操作人員。
3.動(dòng)態(tài)潔凈室:處在一切正常應(yīng)用的潔凈室,服務(wù)功能健全,有機(jī)器設(shè)備和工作人員;假如必須,能夠從業(yè)一切正常工作中。
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